Дополнительная информация о статье
"Анализ возможности измерения потенциала плазмы в высокочастотном разряде низкого давления плавающим зондом"

Дополнительная информация (TXT, 2 Kb)

Пристатейные ссылки (BIB, 2 Kb)

Список пристатейной литературы (PDF, 49 Kb)

НАЗВАНИЕ СТАТЬИ
Анализ возможности измерения потенциала плазмы в высокочастотном разряде низкого давления плавающим зондом

СПИСОК АВТОРОВ
Ойлер А.П., Лизякин Г.Д.

ТОМ 3

ГОД 2019

СТРАНИЦЫ 63-66

КОДЫ КЛАССИФИКАТОРОВ

КЛЮЧЕВЫЕ СЛОВА
Вч разряд; плавающий зонд; потенциал плазмы

АННОТАЦИЯ
В данной работе приводится анализ возможности измерения потенциала плазмы в высокочастотном разряде низкого давления при помощи плавающего зонда. Анализируется эквивалентная схема измерений, оценивается импеданс слоя объемного заряда вокруг зонда, определяется погрешность измерений зондом и рассчитываются параметры фильтров для уменьшения погрешности измерений при давлении буферного газа (аргона) P = 0.5--5 мТорр, магнитной индукции B = 0.5--2 кГс, напряженности электрического поля в плазме E = 1--100 В/см и концентрации электронов n = $10^{9}$--$10^{12}$ см$^{-3}$.

TITLE

AUTHORS

KEYWORDS

ABSTRACT